張江實驗室（中國科學院上海高等研究院）硅光子市級重大專項200mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開發晶圓自動清洗系統和晶圓片噴霧清洗設備采購項目中標公告 2019年04月24日 上海 中標結果

招標正文

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公告概要：

　　 (略) 有限公 (略) 上 (略) 的委托，就“張江實驗室（ (略) 上 (略) ）硅光子市級重大專項 * mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開發晶圓自動清洗系統和晶圓片噴霧清洗設備采購項目”項目（項目編號： *** ）組織采購，評標工作已經結束，中標結果如下：

* 、項目信息

項目編號： ***

項目名稱：張江實驗室（ (略) 上 (略) ）硅光子市級重大專項 * mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開發晶圓自動清洗系統和晶圓片噴霧清洗設備采購項目

項目聯系人：趙麗莉

聯系方式： * - * - *** × *

* 、采購單位信息

采購單位名稱： (略) 上 (略)

采購單位地址： (略) 市 (略) 區海科路 * 號

采購單位聯系方式：陳潔 ***

* 、項目用途、簡要技術要 (略) 日期：

本次采購貨物為：晶圓自動清洗系統： * 臺/套，用于高溫氮化硅介質膜熱生長、 * 氧化硅介質膜熱生長工藝前的清洗，化學液包括DHF、SPM、SC1、SC2；晶圓片噴霧清洗設備： * 臺/套，用于干法刻蝕、離子注入去膠后的清洗，化學液包括DHF、SPM、SC1。

* 、采購代理機構信息

采購代理機構全稱： (略) 有限公司

采購代理機構地址：中國 (略) 西路 * 號美麗園大廈 * 樓

采購代理機構聯系方式：趙麗莉 * - * - *** × *

* 、中標信息

招標公告日期： * 日

中標日期： * 日

總中標金額： * .0 萬元（人民幣）

中標供應商名稱、聯系地址及中標金額：

本項目招標代理費總金額：5. * 萬元（人民幣）

本項目招標代理費收費標準：

根據國家發改委 * 號文貨物類標準收費下浮 * %后收取。

評審專家名單：

沈培堅、談進、張惠芬、張軒雄、李斌

中標標的名稱、規格型號、數量、單價、服務要求：

晶圓自動清洗系統： * 臺/套；規格型號：Bpure-WE * AHF ： *** . * 元；

晶圓片噴霧清洗設備： * 臺/套；規格型號：Bpure-WC * ARC: *** . * 。

* 、其它補充事宜

溫馨提示：本招標項目僅供付費會員查閱，您的權限不能瀏覽詳細信息,聯系工作人員辦理會員入網事宜，成為正式會員后方可獲取詳細的招標公告、報名表格、項目附件及部分項目招標文件等。
聯系人：郝工
電話：010-68960698
郵箱：1049263697@qq.com